真空等離子清洗機

   SPV100真空等離子清洗機產品簡述

　　（1.1）等離子清洗的作用原理主要是：

　?。ˋ）對材料表面的刻蝕作用--物理作用等離子體中的大量離子、激發態分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質，而且會產生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

　　（B）激活鍵能，交聯作用等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀的交聯結構，大大地激活了表面活性。

　　（C）形成新的官能團--化學作用如果放電氣體中引入反應性氣體，那么在活化的材料表面會發生復雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。

  （1.2）真空等離子清洗的優勢等離子清洗作為重要的材料表面改性方法，已經在眾多領域廣泛使用。

　　與傳統的一些清洗方法，如超聲波清洗、UV清洗等，以下優點：

　　（A）處理溫度低處理溫度可以低至80℃、50℃以下，低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響。

　　（B）處理全程無污染等離子清洗機本身是很環保的設備，不產生任何污染，處理過程也不產生任何污染。

　　（C）處理效果穩定等離子清洗的處理效果非常均勻穩定，常規樣品處理后較長時間內保持效果良好。

　?。―）可以處理各種形狀的樣品對于復雜形狀的樣品，等離子清洗都能找到合適的解決方案。真空等離子清洗更可實現對固體樣品內部位置進行清洗。

（1.2）產品原理等離子清洗機的結構主要分為四大部分組成：控制系統、激勵電源系統、真空腔體、工藝氣體系統、以及真空泵系統。

        (A）控制系統：控制系統的功能在于控制整個設備的運行，包括人機界面（觸摸屏）、PLC、電氣電路。采用全自動控制系統的真空等離子清洗，可實現多種模式多種程序對清洗設備進行控制，滿足不同客戶的需求。

　?。˙）激勵電源系統：激勵電源主要有三類：40KHz的中頻激勵電源，13.56MHz的射頻激勵電源，2.45GHz的微波激勵電源。目前業界主要采用的是射頻激勵電源和中頻激勵電源。各自應用場合不同。

　?。–）真空腔體：真空腔體主要是分為三種材質的：1）鋁合金腔體，2）不銹鋼真空腔體，3）石英腔體。根據用戶的不同需求，可實現不同的放電模式和適用不同的樣品尺寸和產能。

　　（D）工藝氣體系統：SPV100真空等離子清洗機工藝氣體包括流量計、氣壓閥等，用戶可靈活選擇多路的工藝氣體方案，氬氣、氧氣、氫氣、氮氣、四氟化碳等，可滿足不同工藝方案要求。清洗各種產品表面。

　?。‥）真空泵：真空泵分為油泵、干泵、羅茨泵，油泵主要采用雙級旋片泵，根據用戶所采用的腔體體積、工作效率、環境要求來制定真空泵的方案。

（2.1）技術參數

（2.2）尺寸參數




 

（3）性能優勢

（3.1）*電源：采用*高壓激勵電源電路技術，產生高密度等離子體，確保出眾的清洗效果。

（3.2）全面安全防護：溫度安全防護功能，過載防護功能，短路斷路報警防護功能，各種誤操作保護功能。

（3.3）*放電技術：特殊處理及特殊結構的放電裝置，確保形成穩定均勻的等離子體。

（3.4）密封性的真空腔體設計：高級的高真空度真空腔體設計及制造工藝，配置進口真空泵。

（3.5）優質產品部件：產品全部部件采用國內外優質部件，確保設備性能*

（3.6）超低清洗溫度：滿足不同場合溫度要求，不對清洗產品造成溫度影響。

（3.7）精密數控加工：進口精密CNC數控機床加工工藝，并配備進口三坐標測量儀進行質量監控。

（3.8）適用形狀復雜樣品：清洗各種復雜形狀的產品，包括內孔內壁，*均勻清洗


（4）案例及定制